1.本文用电子束蒸发的方法在K9玻璃上制备了azo薄膜。
2.本论文利用电子束蒸发方法制备氧化钨、氧化镍薄膜的基础上,研究了热处理工艺对于薄膜电致变色性能的影响。
3.在圆形硅基底上采用电子束加热蒸发制备了二氧化钛薄膜。
4.最后利用电子束蒸发技术制备了薄膜样品,样品的光谱性能完全能够满足使用要求。
5.为实现电子束曝光机扫描场的线性畸变校正,设计了图形发生器的成像系统,该系统包括硬件和软件两部分。